用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用所述剥离剂组合物剥离光致抗蚀剂的方法

摘要

本发明涉及一种光致抗蚀剂剥离剂组合物。更具体而言，通过含有一种式1表示的化合物，本发明的光致抗蚀剂剥离剂组合物具有优良的光致抗蚀剂剥离能力，并且在光致抗蚀剂的下层膜包含钼(Mo)的情形下，具有对所述光致抗蚀剂的下层膜的优良的防腐蚀效果。