光学邻近校正模型的训练方法、装置及光学邻近校正方法

摘要

本发明涉及光学邻近校正领域，特别是公开了一种光学邻近校正模型的训练方法、装置及光学邻近校正方法，通过确定目标版图，并获取所述目标版图中的扫描单元对应的图案特征信息及透光信号；将所述图案特征信息与所述透光信号输入脉冲神经网络与深度强化学习的复合模型，得到光线‑图案模型；所述光线‑图案模型的输入为所述透光信号，输出为所述透光信号对应的图案特征信息；获取掩膜板训练集；对所述掩膜板训练集进行光刻，得到掩膜板透光信号；利用所述掩膜板透光信号，通过所述光线‑图案模型，获得光学邻近校正模型。本发明大大缩短了模型训练素材的准备时间，提高了模型的训练效率，同时降低了模型训练硬件成本，提高了模型的校正准确度。