蒸发源、具有蒸发源的沉积设备及其方法

摘要

在本公开内容中，提供一种用于在处理腔室(510)中在基板(S)上沉积材料的蒸发源(100)。该蒸发源(100)包括壁(110)，将内部区域(101)与外部区域(102)分离；蒸发管(120)，自壁(110)延伸至内部区域(101)中，该蒸发管(120)具有多个开口(122)；内管(160)，延伸经过壁(110)至蒸发管(120)中，该内管环绕加热元件(140)；和可密封外壳(130)，自壁(110)延伸至外部区域(102)中，其中可密封外壳(130)和内管(160)形成与内部区域(101)隔离的维护腔室(150)。其他多个方面包括一种具有所述蒸发源(100)的沉积设备(500)、一种用于替换所述蒸发源(100)中的加热元件(140)的方法、一种用于填充所述蒸发源(100)的方法，和一种用于停用所述蒸发源(100)的方法。