机译:用于有机材料的蒸发源,具有用于有机材料的蒸发源的设备,具有具有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于运行用于有机材料的蒸发源的方法
公开/公告号KR20160098333A
专利类型
公开/公告日2016-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드;
申请/专利号KR20167018445
申请日2013-12-10
分类号H01L51/56;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56;H01L51;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 14:13:42