公开/公告号CN105917019A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480073071.2
申请日2014-02-04
分类号C23C14/24(20060101);C23C14/56(20060101);C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);B05D3/04(20060101);B05D1/02(20060101);B05D1/00(20060101);H01L51/00(20060101);H01L51/56(20060101);B65G49/05(20060101);C23C14/50(20060101);H01L21/67(20060101);H01L21/677(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 00:24:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/24 申请日:20140204
实质审查的生效
2016-08-31
公开
公开
机译: 用于有机材料的蒸发源,具有用于有机材料的蒸发源的设备,具有包括用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法
机译: 用于有机材料的蒸发源,具有用于有机材料的蒸发源的设备,具有具有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于运行用于有机材料的蒸发源的方法
机译: 用于有机材料的蒸发源,具有用于有机材料的蒸发源的设备,具有具有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于运行用于有机材料的蒸发源的方法