机译:用于有机材料的蒸发源,具有用于有机材料的蒸发源的设备,具有包括用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法
公开/公告号JP2017500446A
专利类型
公开/公告日2017-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20160537004
申请日2013-12-10
分类号C23C14/24;H05B33/10;H01L51/50;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:55:19