柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器

摘要

本申请提供了一种柔性光学触觉传感器的制备方法及柔性光学触觉传感器。在制备柔性光学触觉传感器时，主要包括两个步骤，一是制备光波导，二是采用包层材料对光波导进行封装。其中，在制备光波导阶段，在采用透明光刻胶形成一种透明光刻图案后，会使用有色光刻胶对这种透明光刻图案进行标记，以防止后续制备过程中无法定位薄膜光路；进一步地，采用对双光子聚合光刻胶进行双光子聚合加工的方式来形成波导光栅，能够大大提高触觉传感器的空间分辨率；另外，在上述制备过程中，所形成的光刻图案和波导光栅的厚度均为微纳米级，使得制备的触觉传感器具备良好的可弯曲性。综上，采用上述制备方法能够得到一种具备柔性和高空间分辨率的触觉传感器。