公开/公告号CN114995066A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 湖北源合达科技有限公司;
申请/专利号CN202210606192.5
申请日2022-05-31
分类号G03F7/20;G03F9/00;
代理机构武汉惠创知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人吴平兰
地址 437200 湖北省咸宁市嘉鱼县经济开发区田野大道创业孵化园1号楼
入库时间 2023-06-19 16:39:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-02
公开
发明专利申请公布
机译: 适用于形成图案的重复性曝光的投影曝光设备,一种使用其的投影曝光方法,一种制造曝光成员的方法以及一种包括曝光模式列的半导体装置
机译: 使用快门元件进行曝光的装置和一种用于曝光部分全息膜的曝光方法,一种用于制造薄膜晶体管的方法,一种显示装置以及一种电子装置
机译: 摄影传感器板,一种制造没有胶片的双能射线照相传感器板的方法,用于在下一次曝光之前擦除先前的图像,以及对没有胶片的照相图像传感器进行曝光,以擦除,曝光和读取没有胶片的传感器图像摄影图像,以进行扫描多个像素,用于获取存储在图像存储传感器中的图像,并用于获取来自分割板的信号,以及用于并行操作的扫描系统,用于读取临时存储图像的传感器,用于X射线X线摄影而没有胶片,用于不带胶片的X射线放射学,以及用于分段板信号处理的电气装置,分段界面没有明显的退化