用于投影曝光装置的标线以及使用它的曝光方法

摘要

本发明为用于投影曝光装置的标线以及使用它的曝光方法，为了提供能够增加每个晶圆的芯片数量并且实现高精确对准的标线以及使用标线的曝光方法，第一对准标记布置区域(8)和第二对准标记布置区域(9)在多芯片区域(2)的两侧提供，以便使第一对准标记布置区域的尺寸与第二对准标记布置区域的尺寸之和与芯片区域(1)的尺寸相同。