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吴秀丽; 张晓辉;
曝光装置; 缩小投影式; 集成电路;
机译:用于新的照明减速投影型曝光设备的新型照明减少投影型曝光装置,用于进一步演进Lai“Polano” -
机译:缩小浸没式磁性透镜,用于无交叉投影电子投影光刻
机译:增强的投影曝光装置的操作
机译:具有液晶投影仪的无掩模曝光装置的开发,用于制造微图形表面和微流体通道
机译:减少CMIP5十进制后继广播/投影中的缩小比例和模型不确定性。
机译:在沉浸式虚拟现实中模拟棱镜曝光比在健康主体中产生比标准棱镜曝光更大的棱镜后效
机译:利用缩小投影曝光系统研究高分辨率光刻
机译:电子图像生成和投影装置第三卷的测试和评估 - 投影屏幕的评估
机译:使用缩小投影曝光装置的测量方式及其缩小投影曝光装置
机译:缩小投影曝光装置及缩小投影曝光方式
机译:干涉式梯度或高度检测装置和缩小投影式曝光装置及其方法
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