多结晶硅的硅籽晶杆组装体及其制造方法、多结晶硅制造装置和多结晶硅制造方法

摘要

本发明提供一种确保硅籽晶杆与连结部件的接触面积良好并且进行质量稳定的生产的、多结晶硅的硅籽晶杆组装体及其制造方法以及使用该硅籽晶杆组装体的多结晶硅制造装置和多结晶硅制造方法。在形成于硅籽晶杆(2)的顶端部(2B)和主体部分(2A)之间的阶梯部上形成有与硅籽晶杆(2)的延伸方向正交的支承面(2C)，在连结部件(3)上贯通该连结部件(3)地设置有用于使上述顶端部(2B)插入的贯通孔(4)，上述连结部件(3)中上述贯通孔(4)的一侧(3B)的开口端周缘形成为比另一侧(3A)的开口端周缘锐利，并且上述一侧的开口端周围的表面成为与上述贯通孔(4)的贯通方向正交的平坦的抵接面(3C)，上述顶端部(2B)以使上述抵接面(3C)与硅籽晶杆(2)的上述支承面(2C)抵接的方式插入到上述贯通孔(4)中。