一种窄分布的193nm深紫外光刻胶用BARC树脂及其制备方法

摘要

本发明适用于高分子技术领域，提供一种窄分布的193nm深紫外光刻胶用BARC树脂的制备方法，包括：将BARC树脂单体、羧基化富勒烯、引发剂置于溶剂中溶解，得到单体溶液，高温加热，发生自由基聚合反应，得到反应液并冷却，利用不同极性的混合溶剂对冷却反应液进行沉淀处理、分离、干燥，得到光刻胶用BARC树脂。本发明中羧基化富勒烯的羧基可以与甲基丙烯酸羟丙酯、对羟基苯乙烯的羟基反应，减少一些链转移显影，可以得到窄分布聚合物，富勒烯的空心球网状结构可以降低光反射，使得BARC树脂吸光性能更稳定，利用不同极性的混合溶剂处理沉淀，可以改变BARC树脂的分子量和分子量分布，可以根据需求，调节极性的变化浮动，从而制得窄分布的193nm深紫外光刻胶用BARC树脂。