壬酮内酯聚合物树脂、制备方法、含有该树脂的193nm光刻胶组合物的制备方法

摘要

本发明公开了壬酮内酯聚合物树脂，其特征在于包含壬酮内酯结构的功能单体,具有如下所示结构A和B中的一种：其中，R1为含两个碳原子以上的烷基基团或含有至少一个乙氧基以上结构单元的基团，所述烷基基团表示为CnH2n+1，n为大于2的整数，乙氧基单元表示为‑(C2H4O)m‑，其中m为大于1的整数；R2为含两个碳原子以上的烷基基团或含有至少一个乙氧基以上结构单元的基团，所述烷基基团表示为CnH2n+1，n为大于2的整数，乙氧基单元表示为‑(C2H4O)m‑，其中m为大于1的整数；R3为碳原子或氧原子；R4为氢原子或甲基，该单体用于制备含有该壬酮内酯聚合物，进一步用于193nm光刻胶组合物，其能使光刻胶获得2nm以下的边缘粗糙度，又能获得高分辨率，同时还能减小光刻胶缺陷，提升良率；