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公开/公告号CN114342986A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 南京农业大学;
申请/专利号CN202210043173.6
发明设计人 李春保;高廷轩;陈玉仑;邹厚勇;糜长雨;张淼;赵迪;周光宏;
申请日2022-01-14
分类号A22B5/00;
代理机构南京天华专利代理有限责任公司;
代理人李德溅;徐冬涛
地址 210095 江苏省南京市玄武区卫岗1号
入库时间 2023-06-19 14:59:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-15
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置
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