退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN114361033A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 西安电子科技大学;
申请/专利号CN202111397913.8
发明设计人 马晓华;祝杰杰;郭静姝;徐佳豪;赵旭;宓珉瀚;
申请日2021-11-23
分类号H01L21/335;H01L29/06;H01L29/778;
代理机构西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王萌
地址 710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
入库时间 2023-06-19 14:57:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-15
公开
发明专利申请公布