一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法

摘要

本发明公开了一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法，包括药液桶、供给混料机构、换液升降机构、流量检测组件和倾斜施力机构，倾斜施力机构设置在换液升降机构的侧边，用于推动药液桶绕其底面的棱边朝向供给混料机构旋转，以使得供给混料机构及时泵取到药液桶底部的化学药液；控制系统，分别与供给混料机构、换液升降机构、流量检测组件和倾斜施力机构连接，控制系统根据流量检测组件的实时测量结果调控供给混料机构的泵取工作，且控制系统根据流量检测组件实时测量结果计算药液桶的剩余液量，控制系统基于计算的剩余液量依次调控倾斜施力机构和换液升降机构工作。本发明避免将药液倾斜聚集，保证化学药液的配比比例精度。