一种在线式化学沉积工艺中的药液供给系统设计

摘要

在膜带传输过程中,实现在线连续沉积,会造成化学液的持续消耗,同时化学液中含有限制排放的镉离子,废液处理费用昂贵,因此无论从化学液消耗角度还是从降低废液处理费用角度,都要尽可能减少化学液的消耗量.针对这些难点,提出了化学液以液膜形式流过膜带表面,并对化学液流速进行控制的解决办法.再根据薄膜传输速度,对沉积工艺时间进行准确控制,从而实现膜带传输过程中的连续在线沉积.通过在线式化学沉积工艺中的药液供给系统设计，成功解决了化学液的自动配比和化学液温度控制这两方面的难题。