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公开/公告号CN109411387A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社斯库林集团;
申请/专利号CN201810842099.8
发明设计人 樋口鲇美;藤田惠理;岩畑翔太;尾辻正幸;藤谷佳礼;
申请日2018-07-27
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强
地址 日本京都府
入库时间 2024-02-19 08:29:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20180727
实质审查的生效
2019-03-01
公开
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机译:非接触式处理装置的平板基板的惯例使用超声波振动(垂直) - 基于基于基板的顶表面的玻璃基板开口空间
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