一种压电驱动细胞显微注射装置及其自适应柔顺控制方法

摘要

本发明公开了一种压电驱动细胞显微注射装置，包括柔顺放大机构、位于柔顺放大机构前端的注射针、压电陶瓷；堆叠式压电陶瓷放置在机构中间方槽中，两端用导向柔性梁构成滑移约束来代替过去大量采用的一个输出端固定的边界约束，可以实现增大机构输出刚度，提高机构的固有频率，有利于抑制该多级位移放大柔顺导向机构的位移衰减，从而提高位移放大的精度。本发明还提供了上述压电驱动细胞显微注射装置的自适应柔顺控制方法。