MoX2/WX2横向异质结的制备方法

摘要

本发明提供一种MoX2/WX2横向异质结的制备方法，通过将两种金属源配置成前驱体溶液，在将前驱体溶液涂覆在衬底表面后，采用CVD法，即可获得界面锐利的MoX2/WX2横向异质结；本发明不需要预先将金属源在空间上进行分离，也无需在实验过程中精确控制实验参数，即可自组装形成MoX2/WX2横向异质结；通过改变X蒸汽的引入时间，还可以控制制备的MoX2/WX2横向异质结的层数；本发明制备方法重复性高、简单易行、无需复杂精确的实验操作、获得的MoX2/WX2横向异质结边界锐利，没有产生合金现象，且制备的MoX2/WX2横向异质结转移方便，适用性较广，从而本发明可大大降低目前制备横向异质结的门槛。