BaSi_2テンプレート作製法がp-BaSi_2-Siヘテロ接合太陽電池特性に与える影響

摘要

我々は薄膜太陽電池の新材料としてBaSi_2 に注目している。BaSi_2 は従来の材料を凌駕する基礎物性を有しており、p-BaSi_2-Si ヘテロ接合太陽電池では変換効率を獲得した。この太陽電池ではBaのみを供給するRDE法により基板温度500°Cで5 nmのBaSi_2テンプレート層を作製している。しかし、このテンプレート層を作製する際にBa原子がSi基板中に拡散することが明らかになっており、界面特性の低下に寄与していると予想される。本研究では、更なる特性向上のために優れたテンプレート層作製条件の模索を行い、p-BaSi2-Siヘテロ接合太陽電池特性への影響を調査した。