一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池

摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，具体涉及一种异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池。一种异质结太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：在N型衬底的正面和背面分别形成本征钝化层，包括：采用射频等离子体增强化学气相沉积工艺在N型衬底上形成第一子本征钝化层；采用甚高频等离子体增强化学气相沉积工艺在第一子本征钝化层上形成第二子本征钝化层。本发明提供的一种异质结太阳能电池的制备方法，通过射频等离子体增强化学气相沉积工艺和甚高频等离子体增强化学气相沉积工艺制备两层本征钝化层，既抑制了本征钝化层的外延生长，又保证了本征钝化层的整体质量，保证了异质结太阳能电池的效率。