公开/公告号CN114093771A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 广东工业大学;
申请/专利号CN202111335833.X
申请日2021-11-11
分类号H01L21/48(20060101);H01L23/498(20060101);B82Y30/00(20110101);B82Y40/00(20110101);
代理机构44675 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王瑞长
地址 510000 广东省广州市越秀区东风东路729号
入库时间 2023-06-19 14:15:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/48 专利申请号:202111335833X 申请日:20211111
实质审查的生效
机译: 形成聚合物图案和金属膜图案的方法,金属图案,微开孔器,微孔阵列印花机,使用它们的塑料模具的形成方法
机译: 对要涂覆金属层,微孔金属和大孔金属的工艺和设备的改进
机译: 在减小金属间电介质的寄生电容的同时改善接触孔填充特性的半导体器件的制造方法在减小金属间电介质的寄生电容的同时改善接触孔填充特性的半导体器件的制造方法降低金属间介电层的寄生电容的同时降低特性,同时减小p的同时改善接触孔填充特性的半导体器件的制造方法