公开/公告号CN114093787A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25
原文格式PDF
申请/专利权人 致茂电子(苏州)有限公司;
申请/专利号CN202010817541.9
申请日2020-08-14
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);G01N21/62(20060101);G01R1/04(20060101);G01R31/26(20140101);
代理机构44202 广州三环专利商标代理有限公司;
代理人戴建波
地址 215129 江苏省苏州市高新区珠江路855号(第七号厂房)
入库时间 2023-06-19 14:15:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-02-25
公开
发明专利申请公布
机译: 晶圆检测系统及其晶圆检测设备
机译: 晶圆检测系统,晶圆检测设备和探针
机译: 晶圆检测设备和晶圆检测方法