掺杂钼的氧化铟靶材制备方法和掺杂钼的氧化铟靶材

摘要

本发明提供了一种掺杂钼的氧化铟靶材制备方法和掺杂钼的氧化铟靶材，其中，掺杂钼的氧化铟靶材制备方法包括：将靶材原料通过二段研磨，获取浆料；对浆料进行造粒，获取粒料；通过粒料制备获取掺杂钼的氧化铟靶材；其中，靶材原料包括氧化铟粉末和氧化钼粉末，其中，将靶材原料通过二段研磨，获取浆料的步骤，具体包括：通过球磨工艺处理靶材原料，获取一段浆料；通过砂磨工艺处理一段浆料，获取到中值粒径为0.1μm至0.32μm的浆料其中，球磨工艺的处理时长为12h至18h；球磨工艺中的物料浓度为40％至50％。靶材采用上述的靶材制备方法制备而成，该靶材致密度高，且成分分布均匀性好，用该靶材制备的透明导电薄膜有助于红外波段光的透射。