一种双龙门光刻机及其加工方法

摘要

本发明公开了一种双龙门光刻机及其加工方法，涉及光学加工技术领域，包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构，光学机构和对位机构均连接于双龙门上；光学机构包括光刻镜头，光刻镜头和镜头移动板；对位机构包括对位相机；工作台机构包括上工作台和下工作台，上工作台上设有丝杠升降机构，上工作台通过丝杠升降机构对台面垂直升降；下工作台上设有斜块升降机构，下工作台通过斜块升降机构对台面垂直升降；本发明的上工作台通过丝杠升降机构垂直升降台面，下工作台通过斜块升降机构对台面垂直升降台面，丝杠升降机构的结构简单，重量低，占用空间小；本发明通过上工作台和下工作台的紧密配合工作，提高了工作效率，且不易产生误差。