double patterning lithography; planar graph; matching algorithm;
机译:双图案光刻中快速且可扩展的并行布局分解
机译:双图案光刻的版图分解方法
机译:基于QR分解的点模式匹配算法☆
机译:双图案化光刻的基于匹配的分解器
机译:三重图案光刻的版图分解。
机译:基于图案化集成软光刻工艺的微透镜阵列的仿昆虫成像系统
机译:基于匹配的双图案光刻分解器*
机译:利用金簇au55p((C6H5)3)12Cl6的电子束光刻技术,通过热分解和直接图案化形成导电金膜。