一种光刻机楔板斜面的加工方法及其夹具工装

摘要

一种光刻机楔板斜面的加工方法，包括：准备处理步骤；粘接处理步骤；将工装定位平台机床固定，利用机床探头探测楔板的四个角点的面形趋势作好记录；斜面加工步骤。本发明有效的保证斜面的精度、中心厚度要求，使产品的报废率大大降低，成功率保持在90％以上。