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薄膜、层叠体、带薄膜层的半导体晶圆、带薄膜层的半导体搭载用基板和半导体装置

摘要

本发明提供一种薄膜,其包含:含有选自由马来酰亚胺化合物和柠康酰亚胺化合物组成的组中的至少1种的化合物(A);含有选自由特定式所示的有机过氧化物组成的组中的至少1种的有机过氧化物(B);和,氢过氧化物(C)。

著录项

  • 公开/公告号CN114026682A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱瓦斯化学株式会社;

    申请/专利号CN202080047344.1

  • 申请日2020-06-26

  • 分类号H01L23/24(20060101);C08J5/18(20060101);C08L79/08(20060101);C08K5/14(20060101);

  • 代理机构11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人刘新宇;李茂家

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 14:06:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-02-08

    公开

    国际专利申请公布

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