前端双窗口双光束小夹角输出超辐射发光二极管

摘要

前端双窗口双光束小夹角输出超辐射发光二极管属于半导体发光器件技术领域。现有技术存在光能损失，工艺难度大，光输出功率难以提高。在本发明中，由下电极、衬底、下限制层、下波导、有源层构成超辐射发光二极管的立方体状主体，所述主体的各层长度、宽度相同，厚度不同；其特征在于，由上波导、上限制层、覆盖层、上电极构成超辐射发光二极管的前端双窗口斜波导，所述前端双窗口斜波导由两段斜波导和一段弯曲波导构成，且在主体上一次刻蚀而成，有源层前端面与所述两段斜波导各自的前端面对应的部分均为出光窗口，两个出光窗口制作有相同的抗反射涂层。