单管前端双光束平行输出超辐射发光二极管

摘要

单管前端双光束平行输出超辐射发光二极管属于半导体发光器件技术领域。现有技术存在其不足，包括：存在光能损失；工艺难度大；光输出功率难以提高；多光束平行度难以保证。本发明其特征在于，由上波导、上限制层、覆盖层、上电极构成所述超辐射发光二极管的组合波导，所述组合波导由一个曲率渐变区域波导与两个输出波导构成，两个输出波导走向彼此平行，且分别位于曲率渐变区域波导的前左端、前右端，曲率渐变区域波导的俯视形状为由一条曲率渐变曲线和一条直线围拢的图形，所述组合波导在主体上一次刻蚀而成，有源层前端面与所述两个输出波导各自的前端面对应的部分均为出光窗口，两个出光窗口制作有相同的抗反射涂层。