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一种石墨烯/二硫化钨-二硒化钨异质结/石墨烯光电探测器及其制备方法和应用

摘要

本发明属于光电探测器技术领域,公开了一种石墨烯/WS2‑WSe2异质结/石墨烯光电探测器及其制备方法和应用。所述光电探测器的结构为电极/石墨烯/WS2‑WSe2异质结/石墨烯/电极;所述石墨烯与WSe2‑WS2异质结不接触,所述电极与WS2和WSe2均不接触。该方法是在SiO2/Si衬底上用机械剥离法获取单层或几层WS2,再利用PDMS将WSe2转移到SiO2/Si的WS2上,再将石墨烯分别转移到WS2和WSe2上,最后在石墨烯两端进行光刻,镀金属电极,制成光电探测器。在405nm波长2mW光功率照射下,光电探测器开关比达到了121倍左右,比两端没有石墨烯的探测器的开关比提高了0.45倍。

著录项

  • 公开/公告号CN113990970A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 广东工业大学;

    申请/专利号CN202111233352.8

  • 申请日2021-10-22

  • 分类号H01L31/0336(20060101);H01L31/0224(20060101);H01L31/109(20060101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构44329 广东广信君达律师事务所;

  • 代理人彭玉婷

  • 地址 510062 广东省广州市越秀区东风东路729号

  • 入库时间 2023-06-19 14:01:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-01-28

    公开

    发明专利申请公布

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