一种脉冲激光分子束外延装置

摘要

本发明公开一种脉冲激光分子束外延装置，包括靶台及控制模块。其中，靶台安装于安装法兰盘上，且包括无磁材料制成的公转平台及垂直设置于公转平台上的至少一个靶位，公转平台及靶位能够在控制模块的控制下分别绕各自的中心轴旋转，此外，各靶位之间互不干涉。同时，控制模块还可以驱动靶台的运动。