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一种真空蒸馏提纯金属锰的方法

摘要

本发明提供了一种真空蒸馏提纯金属锰的方法,将原料锰在真空条件下进行加热,通过冷凝装置收集蒸馏出来的锰蒸汽,冷凝得到金属锰;其中,需要严格控制所述真空条件的真空度为10‑5‑1Pa,所述加热的目标温度为1250‑1400℃。本发明所述方法采用真空蒸馏工艺提纯金属锰,不仅可以将市售原料锰提纯至纯度为4N5‑5N,金属锰中杂质总含量<50ppm,且气体元素杂质总含量<100ppm,每1g金属锰中粒径>1.3μm的非金属不溶夹杂物数量<5000个,满足半导体靶材原料的要求,还具有流程简单、能耗低、环境污染小等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN113897501A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波创致超纯新材料有限公司;

    申请/专利号CN202111161334.3

  • 申请日2021-09-30

  • 分类号C22B47/00(20060101);C22B9/04(20060101);

  • 代理机构11659 北京远智汇知识产权代理有限公司;

  • 代理人王岩

  • 地址 315400 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路18号

  • 入库时间 2023-06-19 13:35:32

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