公开/公告号CN113898695A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-07
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司;
申请/专利号CN202111159531.1
申请日2021-09-30
分类号F16F15/00(20060101);F16F15/027(20060101);
代理机构44281 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司;
代理人郭燕;彭家恩
地址 518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
入库时间 2023-06-19 13:35:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-21
授权
发明专利权授予
机译: 隔振构件的安装方法,隔振构件的安装装置,隔振构件,隔振构件的回收方法以及隔振构件的回收装置
机译: 隔振装置,隔振支座及隔振车配备有该装置。
机译: 隔振装置,隔振装置的控制方法以及曝光装置