精密除振台「Stable」ステイブル：精密機器への環境振動を遮断する除振装置

摘要

倉敷化工は1964年より、自動車用ゴム部品をはじめ、防振、除振、免震のための製品を開発·製造·販売してきた。近年、電子顕微鏡などの測定機器や半導体製造装置などの高精度化、高性能化か進み、床からそれらの機器に伝わる板動が問題になっている。 この対策として一般的に除振台が使用される。 これまで単に除振台と呼ばれていた空気ばねのみによるパッシブ除振台と、電気的な制御を加え、性能向上を図ったアクティブ除振台を紹介する。