多晶硅表面金属检测样品制备方法及检测方法

摘要

本发明公开一种多晶硅表面金属检测样品制备方法，包括：称取多晶硅；采用硝酸和氢氟酸的混合酸液对多晶硅的表面进行快速淋洗，得到酸洗液；再对酸洗后的多晶硅进行水淋洗，得到水洗液；将酸洗液和水洗液一同加热至蒸干；在蒸干后的残渣中加入硝酸进行溶解，再对溶解得到溶解液进行定容，得到多晶硅表面金属检测的样品。本发明还公开一种包含上述样品制备方法的多晶硅表面金属检测方法。本发明可以大大缩短检测样品制备的时间和检测周期，提高检测准确度。