薄膜内包含金属或金属氧化物的硅金属氧化物封装膜及其制备方法

摘要

本发明涉及薄膜内包含金属或金属氧化物的硅氧化物封装膜及其制备方法，本发明的硅金属氧化物封装膜的薄膜生长率高，水分及氧气的渗透率低，虽然厚度很薄，但密封效果非常优秀，而且能够调节应力强度及折射率，因此可以有效制备应用于柔性显示器的高品质的硅金属氧化物封装膜。