首页> 中文期刊>郑州轻工业学院学报（自然科学版） >金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)--气敏薄膜厚度效应的实验规律

金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)--气敏薄膜厚度效应的实验规律

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍了N型金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律.给出了响应时间和恢复时间随膜厚及气体浓度变化的规律;指出了气敏薄膜存在最佳灵敏度的膜厚和最佳晶粒尺寸的事实;给出了低真空退火后气敏薄膜的电导激活能随膜厚变化的实验曲线.

著录项

来源
《郑州轻工业学院学报（自然科学版）》|2000年第4期|40-42|共3页
作者
李宇兵; 刘文利; 高建华; 李蕾; 裘南畹;
展开▼
作者单位

山东大学,数理系,山东,济南,250061;

山东大学,数理系,山东,济南,250061;

山东大学,数理系,山东,济南,250061;

山东大学,数理系,山东,济南,250061;

山东大学,数理系,山东,济南,250061;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.2;
关键词
气敏器件; 薄膜; 厚度; 金属氧化物; 响应; 晶粒尺寸;
入库时间 2023-07-25 18:54:14

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论 [J] . 袁庆华 ,李蕾 ,刘文利 . 实验室研究与探索 . 2005,第011期
2. 金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅱ)--扩散反应理论和气敏晶体的介观效应 [J] . 刘文利 ,李宇兵 ,李蕾 . 郑州轻工业学院学报（自然科学版） . 2000,第004期
3. 粉末溅射金属氧化物气敏薄膜和元件 Ⅰ.粉末溅射金属氧化物气敏薄膜 [J] . 田芳 ,郭晓丽 ,张颖欣 . 山东大学学报：工学版 . 2008,第5期
4. 纳米金属氧化物气敏薄膜的最佳晶粒尺寸和介观效应 [J] . 李蕾 ,刘文利 ,高建华 . 计测技术 . 2006,第0z1期
5. 纳米金属氧化物气敏薄膜的最佳晶粒尺寸和介观效应 [J] . 李蕾 ,刘文利 ,高建华 . 计测技术 . 2006,第B09期
6. 金属氧化物气敏薄膜的厚度效应(Ⅰ)——气敏薄膜厚度效应的实验规律 [C] . . 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会 . 2000
7. 厚度和微观结构对钙钛矿锰氧化物Pr(Sr0.1Ca0.9)2Mn2O7薄膜交换偏置效应的影响 [A] . 彭勃 . 2017

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号