纳米金属氧化物气敏薄膜的最佳晶粒尺寸和介观效应

摘要

纳米金属氧化物气敏薄膜存在灵敏度的最佳膜厚l°和最佳晶粒尺寸ro°，其值与材料和工艺有关。最佳晶粒尺寸的存在是一种新的介观效应，它来自晶粒尺寸缩小到一定程度时反映吸附氧负离子的Fermi统计失效；根据当品粒尺寸缩小到特征长度r。时晶粒将保持电中性的Kubo理论对Fermi统计公式进行修正，从而给出了最佳晶粒尺寸ro°=2rm的结果，并用Kubo理论电子逸出功公式估算了rm与ro°的数值。