公开/公告号CN113889527A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-04
原文格式PDF
申请/专利号CN202111037059.4
申请日2021-09-06
分类号H01L29/10(20060101);H01L29/78(20060101);H01L21/336(20060101);
代理机构31286 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄海霞
地址 201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室
入库时间 2023-06-19 13:32:21
机译: 鳍式场效应晶体管的制造方法,鳍式场效应晶体管及包括鳍式场效应晶体管的器件
机译: 鳍式场效应晶体管及鳍式场效应晶体管的形成方法
机译: 鳍式场效应晶体管及制造鳍式场效应晶体管的方法