一种新的晶圆贴膜工艺

摘要

本发明涉及晶圆贴膜技术领域，具体为一种新的晶圆贴膜工艺，包括工作台，所述工作台的内部下侧有承载板，所述承载板的端部设置有真空机，所述工作台的端部设置有贴膜组件，所述贴膜组件包括真空贴膜台、支撑柱、晶圆主体、定位架、定位轴、衔接杆、第一转接轴、转接杆、定位块、第二转接轴、真空罩和电动伸缩杆，通过电动伸缩杆的驱动端通过定位圆轴与转接杆滑动连接，能够使真空罩与真空贴膜台的连接运行简单方便，通过定位块能够使真空罩与真空贴膜台的压合连接稳定性高，通过真空罩与真空贴膜台对应适配设置，能够使晶圆主体的真空贴膜效果较好，通过利用真空吸附使晶圆主体同膜贴合效果好，能够使晶圆主体的贴膜效率和质量高。