晶圆键合压头超声波发生器频率追踪电路及追踪方法

摘要

本发明涉及一种晶圆键合压头超声波发生器频率追踪电路，涉及半导体键合技术领域，包括超声波反馈回路和频率追踪电路；所述超声波反馈回路包括：高频交流不平衡电桥和变压器，所述变压器输出同相端与电感L的一端连接，电感L的另一端与交流不平衡电桥的一端连接，高频交流不平衡电桥的另一端与变压器的反相端连接，所述交流不平衡电桥包括参比桥臂和测量桥臂自动频率追踪电路晶圆压头的的工作频率，高频脉冲互感器CT1、高频脉冲互感器CT2、高频脉冲互感器CT3；避免了每次更换压头要重新调整机器的工作频率的麻烦，电路自动补偿功率与振幅，精度高、功率稳定，使用方便，而且故障率低，维护成本大幅减少，使用寿命更长。