一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备

摘要

本发明涉及一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备，所述加热系统包括加热盘（2）、热辐射防护组件、陶瓷支撑组件、导电组件和绝缘支撑筒（6），热辐射防护组件包括基板（4）和设置在基板（4）上的反射板（3），加热盘（2）通过陶瓷支撑组件支撑在反射板（3）的上方，导电组件包括导电支撑板（5）、铜排（7）和电极（8），铜排（7）与电极（8）相连且电极（8）的上端与导电支撑板（5）相连，基板（4）通过绝缘支撑筒（6）支撑在导电支撑板（5）的上方，导电支撑板（5）通过穿过基板（4）和反射板（3）的接线柱与加热盘（2）相连。其能够满足MOCVD设备对加热系统的要求，实现其温场均匀、稳定的目标。