一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置

摘要

本发明涉及超精密加工领域，一种振动辅助辊式磁流变激光复合抛光装置，其中，X轴运动系统安装在Z轴运动系统的动力端，辊式磁流变激光复合抛光系统安装在X轴运动系统的运动端，辊式磁流变激光复合抛光系统可由X轴运动系统驱动在水平面内X方向直线移动，XY向振动平台安装在Y轴运动系统的运动端，XY向振动平台可由Y轴运动系统驱动在水平面内Y方向直线移动；被加工件置于XY向振动平台，该XY向振动平台用于使承载在其上的被加工件形成水平面内的二维振动，辊式磁流变激光复合抛光系统用于通过发出的磁场使被加工件通过磁流变抛光液形成柔性抛光效果。本抛光装置在提高抛光效率的基础上，获得更好的表面质量。