一种基于介孔In2O3-NiO敏感材料的三乙胺气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于介孔In2O3‑NiO敏感材料的三乙胺气体传感器及其制备方法，属于半导体氧化物气体传感器技术领域。由外表面带有金电极的Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在衬底外表面的介孔In2O3‑NiO敏感材料和置于衬底内的镍铬加热线圈组成。本发明利用Ni‑MOF为模板，通过将Ni2+与In3+交换，将Ni‑MOF转化为In/Ni‑MOF可以防止在煅烧过程中对Ni‑MOF多孔网状骨架和分级结构的破坏。介孔In2O3‑NiO中空复合材料具有大比表面积(55.5m2g‑1)，可为VOCs分子提供足够的渗透途径，最大化活性位点，增强VOCs捕获能力，使传感器灵敏度大幅度提高。