具有纳微米结构的TOPCon晶硅太阳电池

摘要

一种具有纳微米结构的TOPCon晶硅太阳电池实现方法，在n型晶硅衬底的正面采用碱溶液制备得到微米结构金字塔后，在微米结构金字塔上制备硅纳米柱阵列或金属纳米颗粒阵列；然后在正面通过高温硼扩散形成p‑n结、在背面通过LPCVD方法或PVD方法制备氧化硅/掺杂多晶硅叠层结构；最后在正面的p‑n结上依次覆盖氧化铝/氢化氮化硅叠层和金属Ag/Al栅线、在背面的氧化硅/掺杂多晶硅叠层结构上覆盖氢化氮化硅层和金属Ag栅线。本发明能够显著降低硅片对入射光的反射率，从而使得更多光子被晶硅衬底吸收，同时新绒面结构没有带来更大载流子复合，电池效率跟常规电池具有可比性。