微机械的传感器组件、使用微机械的传感器组件的方法

摘要

本发明提出了一种微机械的传感器组件、尤其是加速度传感器，其具有带有主延伸平面的基底，其中，所述传感器组件包括第一质量和第二质量，其中，所述第一和第二质量分别至少部分可运动地沿垂直方向、即垂直于所述基底的主延伸平面构造，其中，所述第一质量具有止挡结构，其特征在于，所述止挡结构沿所述垂直方向具有与所述第二质量的重叠。