一种碳化硅外延层载流子浓度测试的方法及装置

摘要

本发明涉及一种碳化硅外延层载流子浓度测试的方法及装置，所述方法为采用MCV设备测试碳化硅外延层载流子浓度，所述MCV设备包括载物台，所述载物台上方设置离子风帘盘，所述离子风帘盘通过一导管连接离子风枪；在测试碳化硅外延层载流子浓度之前，开启离子风枪，产生的离子风通过所述离子风帘盘对所述载物台上的碳化硅外延层进行吹扫，之后再进行碳化硅外延层载流子浓度的测试。所述装置包括MCV设备、离子风帘盘和离子风枪。本发明所述方法可以保证碳化硅外延片外延层载流子浓度测试结果的准确性，同时提高现有测试设备测试结果的重现性。