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A New Process for the Fabrication of SiC Power Devices and Systems on SiCOI (Silicon Carbide On Insulator) Substrates

机译：SiCO（绝缘子碳化硅碳化硅上的SiC电源装置和系统制造的新方法

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François Templier; Nicolas Daval; Léa Di Cioccio; Daniel Bourgeat; Fabrice Letertre; Dominique Planson; Jean-Pierre Chante; Thierry Billon;
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年度 2002
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